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能生产3nm!中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML
中科院的固态DUV激光技术完全基于固态设计,由自制的Yb:YAG晶体放大器生成1030nm的激光,在通过两条不同的光学路径进行波长转换。
2025年4月9日 17:43
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